设备翻新

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  •  AMAT Centura RTP/RTO/DPN/xGen
  • AMAT Centura EPI/SiCoNi
  • AMAT Vantage RTP (Soak / Spike)
  • TEL Indyplus Pyro/HTO/THINOX/DPOLY/ALD/Anneal
  • TEL Formula DCS/TEOS/UPOLY/BTBAS/HCD
  • AMAT Endura II Ti/Ta/AL/PCXT/DMD/MOCVD
  • TEL Lithius / ACT12/ACT8/MARK8
  • Hitachi CG4000/4100/S93XX
  • KLA SP1/SP2
  • KLA Quantox XP
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